一般抛光液为王水溶液、硫酸溶液、磷酸型溶液、醋酸过氧化氢型溶液四种。当然也会用到黏度调节剂、缓蚀剂、腐蚀剂、活化剂和消泡剂等,主要包括一些无机盐、有机盐、有机化合物和表面活性剂等。
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