Ebara A70W干式真空泵
Ebara干式泵-请注意，该泵已重新制造，并插入了一个全新的干式螺杆泵，以替换最初随A70W提供的旧的磨损多级罗茨式基础干式泵（如图所示的下部泵送模块）。
螺旋泵对于半导体和其他应用来说是一种设计，因为它为泵送腐蚀性和/或反应性气体提供了短的气路。较短的气路=泵内活性气体的停留时间较短。随着停留时间的缩短，泵内工艺气体反应的可能性降低。
这种新配置的另一个显著好处是能够通过丹佛斯冷却阀/调节器控制干泵的工作温度。
最初的A70设计有一个工作温度。某些工艺在高温或低温干燥泵工作温度下运行，以降低泵内工艺气体反应的可能性。
