加速度传感器，包括由硅膜片、上盖、下盖，膜片处于上盖、下盖之间，键合在一起；一维或二维纳米材料、金电极和引线分布在膜片上，并采用压焊工艺引出导线；工业现场测振传感器，主要是压电式加速度传感器。其工作原理主要利于压电敏感元件的压电效应得到与振动或者压力成正比的电荷量或者电压量。目前工业现场典型采用IEPE型加速度传感器，及内置IC电路压电加速度传感器，传感器输出与振动量正正比的电压信号。
特性
1. Develop "Pass/Fail" criteria for vibration or shock-based "end of line" acceptance testing
2. Product graphics, charts and data for reports and white papers
3. Document "before-and-after" condition to assess effectiveness of design changes
4. Perform ride quality and other "whole body" human response studies"
5. Complete university engineering degree coursework and thesis papers
6. Establish the basis for a simplified machinery condition monitoring program
7. Quickly quantify and pinpoint sources of unwanted vibration
8. Measure tilt angles on heavy equipment, construction sites, and structures
9. Survey anything to get a feel for what's happening - the first step towards fixing it!
并把一维或二维纳米材料连接成测量电桥；所述的信号处理电路包括：整流稳压电路、载波振荡器、测量电桥和交流载波放大器。加速度(力)信号作用在质量块上，使膜片发生应变，利用膜片上的纳米材料测出应变，利用全桥检测方法，将材料应变转化为电信号，再通过一系列的信号处理过程，从而得到被测加速度信号的数值。根据本发明的这种微型膜片式加速度传感器具有很高的灵敏度，并可进行批量生产。
