常见的高浓度废气处理工艺有：洗涤法、催化燃烧法、直接燃烧法、蓄热式催化净化和蓄热式热力氧化。
1、洗涤法
洗涤法是将气体通入含喷淋系统的洗涤塔中，气体经过填料床的均匀分布，利用气体中污染物的溶解性或化学性质，将气体中的污染物吸收或通过化学反应去除，从而达到气体净化的目的。
洗涤法应用于石化行业的具体表现形式为油洗塔。油洗塔是乙烯装置热回收区的关键核心设备，其作用是将来自裂解炉的裂解气中的重油和轻油组分冷凝，并的实现热量回收。
2、催化燃烧法
催化燃烧法是通过引风机将废气送入净化装置换热器换热，再送入到加热室，通过加热装置，使气体达到催化反应温度，再通过催化床内催化剂作用，使有机气体分解成二氧化碳和热能。催化燃烧法适用于处理高浓度的有机废气，但该法一次性投入和维护运行费用都比较昂贵。
3、直接燃烧法
催化燃烧法是利用辅助燃料燃烧所发生热量，把可燃的有害气体的温度提高到反应温度，从而发生氧化分解。直接燃烧法对废气的要求较高，因此要根据具体问题具体分析。
4、蓄热式催化净化
蓄热式催化净化是将低温催化氧化与蓄热技术相结合的一种有机废气净化技术。该法适用与涂装线及烘房有机废气处理，但气体中含有S、卤素等成分时可使催化剂失活，该情况下不适用。
5、蓄热式热力氧化
蓄热式热力氧化是将高温氧化与蓄热技术相结合的一种有机废气处理技术。炉体在进行废气处理之前，先将燃烧室、蓄热床进行预热；预热完毕后，将废气源接入设备。有机废气在配套风机作用下，经预热的蓄热陶瓷体进行热交换，废气经过一次提温后进入加热区，在加热区废气得到第二次提温，直接燃烧，生成二氧化碳与水排出并释放热能。处理后的洁净气体再经过蓄热陶瓷体进行蓄热由风机排出。
蓄热式热力氧化适用于涂装线、印刷、化学合成工艺、石油炼化工艺各种产生中高浓度的有机废气的场所。
