低温等离子体技术是近年来发展起来的另一种VOCs治理新技术。低温等离子体技术治理VOCs的主要原理是在较高的电场强度下，利用介质放电产生的等离子体以极快的速度反复轰击废气中的气体分子，去激活、电离和裂解废气中的各种成分，破坏VOCs分子的结构。通过氧化等一系列复杂的化学反应，使复杂大分子污染物转变为一些小分子的安全物质，如CO2、H2O、CO和NO2;或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质。
低温等离子体技术动力消耗低，装置简单，易于操作，占地面积小，使用方便，近年来得到迅速发展。
催化氧化技术
催化氧化技术的工作原理是VOCs在250——450℃温度的环境和相关催化剂的条件下，发生氧化反应，生成二氧化碳和水，从而达到处理VOCs的目的。
回收技术的核心思想是首先将化工企业中产生的VOCs进行吸收、过滤和分离，其次进行提纯等处理，后展开资源化循环利用，传统的回收技术包括：吸收技术、吸附技术和膜分离技术等。
销毁技术则是通过不同的化学反应，将VOCs转化为其他无毒无害物质排出，达到减排的目的。传统的销毁技术主要指燃烧技术。近年来发展起来的新技术包括泄漏检测与修复(LDAR)技术、等离子体技术、生物技术和光催化等技术。
