等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
。与目前国内常用的异味气体治理方法相比较，等离子体工业废气处理技术具有以下特点：
1.技术高端，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作。
2.节能：无机械设备，空气阻力小，耗电量约为0.0001kw/m3废气
3. 设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，抗氧化，采用防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。
4.结构简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。无机械设备，故障率低，维修容易。
