英国牛津拥有超过68年的行业经验,是全球镀层测厚仪及元素分析仪器的领军品牌。牛津FT150系列是高端毛细管机型,该机型是目前世界上使用XRF技术进行镀层厚度分析的醉小光斑尺寸。
FT150镀层测厚仪系列可精准检测晶圆、引线框架等高精密产品的镀层厚度。
FT150镀层测厚仪工作领域:
150台式XRF系列与以往型号的测量仪不同的是可测量高精度半导体,印刷电路板,微小连接器,引线框架的微小部位,以及极薄膜层和微电子产品的极小特征,通过优化检测装置各部件,使检测灵敏度读大幅提升可在不影响精度的情况下提高处理量,
FT150镀层测厚仪工作特点:
150镀层测厚仪系列采用高强度X射线聚焦毛细管,可将X射线聚焦到30um(FWHM:17um),是目前世界上使用XRF技术进行镀层厚度测量分析的醉小光束斑,100万放大相机用于观察样品上的细微特征:可编程的XY平台,精确定位多个测量点搭配自动对焦功能帮助客户自动快速识别细微样品的测量。
FT150镀层测厚仪配置:
150系列仪器标准配置包括17um钼靶光学结构(可选铬和钨)和高分辨率,大窗口Si半导体检测器,该检测器每秒可处理超过200万次技术,硅漂移检测器应用行业广泛,是测量复杂薄膜的标准配置,高计数能力是实现低检测下限和高光谱分辨率的关键。
FT150镀层测厚仪产品规格
测量元素: 原子序数13(Al)~92(U)
X射线管:50W钼靶射线管,17um毛细管光学结构(可选Cr或W)
检测器:Si半导体检测器(SDD)(无需液氮)
样品观察:高分辨率CCD摄像头(100万像素)
操作系统:电脑、22英寸液晶显示屏
对焦:激光对焦、自动对焦
测量软件:薄膜FP法(最多5层膜、10元素)、检量线法、定性分析
数据处理:Microsoft Excel、Microsoft Word 安装
样品尺寸:
400(W) × 300(D) × 100(H) mm
400(W) × 300(D) × 100(H) mm
600(W) × 600(D) × 20(H) mm