真空度是指气体稀薄的程度。通常用气体的压强来表示真空容器中真空度的高低，气体压强越低真空度越高。压强的法定计量单位为帕(Pa)；真空度还曾采用大气压（atm）、毫米汞柱（mmHg）、托（Torr）、毫巴（mbar）等压强单位。真空是相对的而不是绝对的，一个容器的压强是大量无规则运动气体分子对器壁不断碰撞的结果。
真空获得系统是利用低真空泵和高真空泵组成的抽真空系统来获取真空的一个组合装备，在物理涂层技术中包括机械泵、罗茨泵、扩散泵或分子泵、真空管道、真空控制阀门等。
极限真空度是指利用真空获得系统对真空容器进行时间大于24h不间断抽真空后所得到的真空，这个真空已达到抽气和漏气的平衡，用来检验真空获得系统的性能指标。
漏气率是检验真空系统的保真空能力，计算方法如下：
Q漏=V(P2-P1)/t
