光氧催化虽然是一个远景非常好的技术，可是也避免不了像的技术一样产生废气，光氧催化产生的废气其实不难处理，只要光氧催化设备的细节把握好，那么光氧催化的废气处理就不难了。光氧催化发生的废气采用光氧催化废气净化设备的废气处理系统就可以完美的处理了。光氧催化的废气净化设备包括废气搜集设备和新风弥补设备。这两个光氧催化的设备准备好后，还要有二氧化钛光触媒系统加速反应速率。
UV光氧催化废气治理设备中对有机挥发性废气首要进行光解与催化氧化。光解首要是通过高能UV紫外线对空气中的氧气产生分化作用，推进氧分子分化变成游离态的氧，因为游离态氧上的正负电子处于不平衡状态，因而游离态氧极易与氧分子结合生成臭氧，而臭氧的强氧化作用可以推进有机挥发性废气的分化。在UV高效设备内安装着紫外线放电管，紫外线放电管发生的光子具有很高的能量，高能量的光子能可以迅速裂解小于该能量的有机挥发性废气的分子键，使其转变为无机小分子物质。来达到废气净化的目的。
低温等离子除臭技术是在电场的加速作用下，产生高能电子，当电子平均能量超过目标治理物分子化学键能时，分子键断裂，达到气态污染物的目的。提出的高压脉冲电晕放电法是常温常压下得到低温等离子体的简单、有效的方法。它已成为目前的研究前沿，也正越来越多的用于气态污染物的治理。等离子化学反应过程中，等离子传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下
从以上过程可以看出，电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原
子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，高能电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
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