洁净室怎样对洁净度进行检测?

  • 发布时间:2020-02-25 16:07:38,加入时间:2018年03月27日(距今2691天)
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1、测定洁净度的限度采样点数按附表1的规定确定。每点采样次数不少于3次,各点采样次数可以不同。

附表1 限度采样点数

面积(m2)

洁净度

100级及高于100级

1000级

10000级

100000级

<10

10

20

40

100

200

400

1000

2000

2—3

4

8

16

40

80

160

400

800

2

3

6

13

32

63

126

316

633

2

2

2

4

10

20

40

100

200

2

2

2

2

3

6

13

32

63

注:表中面积的含义是:对于单向流(层流)洁净室,是指送风面面积,对于乱流洁净室,是指房间面积。

2.测定洁净度的最小采样量按附表2的规定确定。

附表2每次采样的最小采样量(L)

3.对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于乱流洁净室,采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度。

4.洁净度测点布置原则是:

(1)多于5点时可分层布置,但每层不少于5点;

(2)5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上(附图6-1),或该平面上的两个过滤器之间的地点,也可以在认为需要布点的其他地方。

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