产品简单介绍:
1.即放即测。
2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量。
3.可无标样测量。
4.通过样品整体图像更方便选择测量位置。
FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪 特长:
1.通过自动定位功能提高操作性
测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。
2.微区膜厚测量精度提高(选配)
通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。
3.多达5层的多镀层测量
使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。
4.广域观察系统(选配)
可从250×200mm的样品整体图像指定测量位置。
5.对应大型印刷线路板(选配)
可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。
6.性价比高
与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。
FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪 规格:
型号:FT110A
测量元素:原子序号Ti(22)~Bi(83)
X射线源:空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000μA
检测器:比例计数管
准直器:○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ2種
样品观察:CCD摄像头
对焦:激光对焦(自动)
滤波器:一次滤波器(自动切换)
样品区域:
固定台面535×530 mm
移动量:X:250 mm, Y:200 mm
测量软件:薄膜FP法、检量线法
安全功能:样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能