查漏,真空查漏,系统查漏等等涉及到的真空泵有哪些 ,下面我们了解一下罗茨真空泵具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
涡轮分子真空泵有一高速旋转的叶轮,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
油扩散真空泵扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下,气体分子不断地向蒸流中扩散,并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除
低温真空泵利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。