低温等离子技术是我国废气处理工艺的核心技术，国外诸多科研机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，低温等离子体要在工业中应用效果还是很不错的，但工艺做起来并不是很容易。低温等离子工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有极强的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。在实践应用中，大的科题在于低气压究竟是多少帕？管内充什么样的气体有经济价值？这没有理论模型可言，只有通过实践、实验、分析。
低温等离子技术如何治理废气的
低温等离子废气处理技术采用双介质阻挡放电形式产生等离子体，所产生等离子体的密度是其他技术产生等离子体密度的1500倍，初用于氟利昂类、哈隆类物质的分解处理，后延伸恶臭、异味、有毒有害气体处理。该技术节能、环保，应用范围广，所有化工生产环节产生的恶臭异味几乎都可以处理，并对二恶英有良好的分解效果。
