在工业生产过程中，排放的尾气通过引风机进入设备的旋转阀，通过选转阀将进口气体和出口气体完全分开。气体首先通过陶瓷材料填充层（底层）预热后发生热量的储备和热交换，其温度几乎达到催化层（中层）进行催化氧化所设定的温度，这时其中部分污染物氧化；废气继续通过加热区（上层，可采用电加热方式或然气加热方式）升温，并维持在设定温度；其再进入催化层完成催化氧化反应，即反应生成CO2和H2O，并释放大量的热量，以达到预期的处理效果。经催化氧化后的气体进入其它的陶瓷填充层，回收后通过旋转阀排放到大气中，净化后排气温度仅略高于废气处理前的温度。
催化燃烧装置（RCO）首先通过除尘阻火系统。然后进入换热器，再送到加热室，使气体达到燃烧反应温度，再通过催化床的作用，使废气分成二氧化碳和水，再进入换热器与低温气体进行热交换，使进入的气体温度升高达到反应温度。如达不到反应温度，加热系统科通过自控系统实现补偿加热。利用催化剂做中间 体，使气体在较低的温度下，变成无害的水和二氧化碳气体。
其机理是废气中有机物的氧化热解和热解，使其转化为洁净的O2和H2O。催化燃烧技术为污染物的处理提供了经济解决方案。催化燃烧处理有机废气具有净化速率高能耗低无次污染等优点。净化催化燃烧速率普遍超过97%，是选择高浓度有机废气净化小流技术。设备特点采用催化燃烧法净化有机废气，可同时去除多种有机污染物。具有工艺简单设备紧凑运行可靠等优点。采用电加热/燃气加热启动具有方便运行成本低的优点；过程有多种稳定保护措施，以保障系统的稳定运行。适用场合该工艺和设备可广泛应用于石油化工橡胶油漆家具家用电器印刷等行业低浓度有机废气的净化。可处理的有机物包括苯酮酯类醇类醚类烷烃等。
但对于排出的废气本身温度就较高的场合，如漆包线、绝缘材料、烤漆等烘干排气，温度可达300℃以上，则不必设置预热装置。预热装置加热后的热气可采用换热器和床层内布管的方式。预热器的热源可采用烟道气或电加热，目前采用电加热较多。当催化反应开始后，可尽量以回收的反应热来预热废气。在反应热较大的场合，还应设置废热回收装置，以节约能源。初始利用电加热启动催化燃烧设备，并利用热空气加热吸附床，当催化燃烧反应床加热到250℃左右，活性炭吸附床局部达到60~120℃时，从吸附床解析出来的高浓度废气就可以在催化反应床中进行氧化反应。反应后的高温气体经换热器，换热后的气体一部分回用送入活性炭吸附床进行脱附，另一部分排入大气。
