晶圆防爆真空固化炉

  • 发布时间:2021-10-07 00:00:00,加入时间:2019年12月13日(距今1623天)
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品牌: GYPEX英鹏
型号: ZK-固化系列
价格: 电议/面议

产品用途:

  本产品是一种用于半导体晶圆制造过程中对聚酰亚胺(PSPI)这一种新型工程高分子材料

固化的专用设备,烘箱温度可达450℃

性能特点:

1.真空度可达10 Pa

2.精体内氧含量:≤20ppm,提供氧含量检测接口

3.日本优易控触摸屏,升降温斜率控制

4.内腔采用耐腐蚀SUS316不锈钢材质制作

型号:   ZK-固化系列                                 

内箱尺寸(H*W*D)   :   nbsp;                          

控温范围 :RT+20℃~450℃

温度波动 :±0.5℃

真空度     :0pa

氧含量      :≤20ppm

内箱材质   :SuS316不锈钢 Stainless Steel Plate

外箱材质 :钢板静电喷涂表面处理 Baked Painting Steel

保温材料 :硅酸铝纤维棉 Aluminum silicate fiber cotton

保护装置 :声光报警器 超温保护器 Audible and visual alarm, Over Temp

功率    :9.0    12.0

电源    :AC380V±10%3中50HZ

晶圆防爆真空固化炉

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