原因一、放电间隙对加工精度的影响
在电火花加工过程中会不断产生气体、金属屑末和碳黑等，如不及时排除，则加工很难稳定地进行。加工稳定性不好，会使脉冲利用率降低，加工速度降低。为便于排屑，一般都采用冲油(或抽油)和 电极抬起的办法。在加工中对于工件型腔较浅或易于排屑的型腔，可以不采取任何辅助排屑措施。
镜面火花机在工作中，因放电时会和材料之间有短暂的间隙，这个间隙就是为了控制稳定性，所以加大脉冲间隙的时间也能够提升这个稳定性，并且峰值电流的提高也能使生产效率提高，不过也会有负面作用，损耗电极。但物体表面的材料不同，粗糙度也会不同，为了保证放电间隙的稳定，必须保证脉冲电源的电气参数的稳定。此外，机床的精度和刚度也应保持稳定。同时，应特别注意电蚀产物引起的二次放电对放电间隙的影响。
原因二、电极的大小以及消耗程度与会对镜面火花机精度有影响
在放电加工，因为脉冲放电受电腐蚀发生损失，这样就可以了解和掌握电极法损失电极，应尽量采取各种方法来降低电极损耗，保证了模具这将是加工精度更高。 EDM，电极的不同部分从损失，电场强度通常尖锐拐角，边缘和高点放电现象其它伸出部分容易形成的情况下不同，所以损失比平坦部快，它将不可避免地导致不均匀的损失降低加工精度。同时损失电极火花机部件并且还通过的热影响的电极材料的物理常数。电极材料的熔点，沸点，热容量越高，熔体的蒸发潜热，较大的热传导性，更好的耐腐蚀性，强的传热能力，从而可以减少电极损耗。
加工斜度的影响：在电火花加工中，侧壁的加工斜度是不可避免的。对于一些需要有一定斜度的模具，成形模的脱模斜度、冲模的落料斜度等，电火花加工过程中的自然斜度是有益的。但是，在加工精度的直壁模具中，加工斜度则对保证加工精度带来了困难。
原因三、加工表面粗糙度的影响
随着脉冲宽度和电流峰值的增加，对电腐蚀表面粗糙度的评价参数也随之增加。在一定的加工条件下，脉冲宽度和电流峰值的增加会增加单个脉冲的能量，从而增加电冲蚀坑的截面尺寸。因此，表面粗糙度主要取决于单个脉冲能量的大小。
棱角倒圆的影响：在成形加工中，工具电极尖棱、尖角处损耗速度一般比较快。因此在加工中很难加工出清棱清角，这样就影响了电火花成型机加工的仿形精度。棱角倒圆有损耗的原因，同时也有工艺方面的原因、例如：在型腔加工中，一般都采用”;手动“或”;摇动加工工艺，很多情况下，尤其使国产平动头，都采用仿圆轨迹的运动方式。在型腔加工修光的同时，又产生了棱角倒圆的副作用。因此，对清棱清角要求高的功件，只能增加工具电极穿透的深度（冷冲模），或在线修整电极，或更换电极。平动或摇动，因有斜十字、米字等多种摇动轨迹、有助于解决棱角损耗角度。
