X-LDM-AE系列为移动磁道电动线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。中央安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm。
X-LDM-AE采用高效无铁芯马达,提供高速和加速同时max‘’限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。
有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。
X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。
X-LDM-AE高精度电控平移台特点
- 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm
- 1 nm分辨率并有线性编码器
- 速度最快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g
- 60,110,210 mm三种行程选择
- 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
- 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙
- 一个数字输入和两个数字输出
- 可组合成双轴XY
重复性Repeatability:
在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。
精度(单向)Accuracy (unidirectional):
当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。
增量移动Minimum Incremental Move:
定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。