低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
低温等离子废气处理净化设备的自动检测系统可以在开机和灭菌过程中自动进行系统的运行参数检测，如果在运行过程中等离子清洗机出现了异常，设备就会自动终止运行，并报警指示故障的情况，大大提高了等离子清洗机设备的运行安全性。
经过收集管路收集后的恶臭气体被抽风系统送进湿式喷淋洗涤塔，臭气与填充式涤气净化塔内的除臭液充分接触，气液两相间的传质是在填料表面的液体与气体间的相界面上进行，空气中或水中的恶臭粒子被水分子被膜所包围着，此时的脱臭必须先破坏水分子被膜，再将其中的恶臭粒子加以捕捉。
在废气处理设备低温等离子体反应区，等离子体带电后将形成15000伏特的高压电场。当废气进入时，它被电离，分子键断裂，废气分子分解成电子和小分子。氧被电离成自由氧，它携带着负电子和正电子不平衡，很容易与氧结合形成臭氧。臭氧将破臭的气体分子氧化成无机物，如CO2和H2O。
低温等离子体技术不仅可以净化空气，同时还可以杀毒染菌，从而使空气维持在自然、清新的状态，这是其他任何技术方法无法比拟的。上面我们说了那么多，那等离子废气处理设备为什么处理后无二次污染呢。其实就是设备是一种干法处理有机废气的净化设备，它无需再生处理原料，无需专人负责，由于等离子废气净化器是由电流作为净化(材料)所以净化过程中和净化后都不产生二次污染。
废气处理设备一般的一步都是做“预处理”，比如用等离子净化器，那么经过等离子净化器的气体成分不得有可燃气体，所以工业废气的一步就是可燃气体的处理。常见的预处理方式就是使用喷淋塔！
