Amsemi_Atw200全自动晶圆贴膜机

  • 发布时间:2020-05-06 14:59:14,加入时间:2012年07月18日(距今4699天)
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Amsemi_Atw200全自动晶圆贴膜机特点:

·先进的ESD滚柱滚边

·全自动胶带供应和安装

·带有真空叉的多链接晶圆搬运机器人的构成

·晶圆位置和翘曲智能映射

·晶圆对准用光纤传感器

·ESD接触式晶片吸盘加热装置,用于处理各种晶片(可选)

·晶圆盒的装入&卸载

·15英寸触摸屏LCD控制标准工业PC

·全铝型材框架

·内置离子风机,用于ESD保护

·下部张力控制技术

Atw200全自动晶圆贴膜机规格:

晶圆直径:4”&5”,6”&8”

晶圆厚度:300~725um

尺寸:1300mm(W)×1500mm(D)×1750mm(H)

重量:约600Kg

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