光氧化废气净化设备中的UV光紫外灯产生紫外线和臭氧分解恶臭气体，改变恶臭气体如：氨、三甲胺、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯系物、苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、丁酮、乙酸乙酯、甲醛、乙醛、乙酸乙酯、苯乙烯、烷烃、烯烃、炔烃、芳香烃、酚、硫化氢、硫醇、硫醚、氨、胺、吲哚、硝基、的分子链结构，使有机或无机恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
光氧化废气净化设备中的高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。最后通过臭氧发生器制造足够的氧离子对废气进行氧化，达到让废气生成二氧化碳和水的效果。
有机废气→对流高磁+光解＋高压电解+O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3→CO2+H2O(达标排放)。
1、恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV光子的能量要低。
2、裂解反应的时间极短（＜0.01s），氧化反应的时间需2-3s。
3、提供的UV光子总功率不够或者含氧量不足，会因为裂解或氧化不完全而生成一些中间副产物，从而影响净化效率。对于高浓度大分子的有机恶臭物质体现得较为明显。
4、光氧化废气净化设备的长期稳定、高效，需要反应温度＜70℃，粉尘量＜100mg/m3，相对湿度＜99%。
5、条件满足的情况下，UV光解净化的zui高净化效率可达到99.9%以上。
对于某些有机化合物的部分化学键键能高于所提供的UV光子能量，如甲醛的“C=O”键的键能为728kj/mol。目前我们所提供的UV光子的能量为704kj/mol（正在研发742kj/mol和800kj/mol）。甲醛在170nm的UV紫外光的照射下，会裂解生成游离态的[C=O]*、H*。一部分[C=O]*与03反应生成CO2，一部分[C=O]*在经过与N2等惰性物质碰撞后失去能量，生成CO，臭氧量充足时可将部分CO氧化成CO2。
