净化室的高效过滤器的作用在于控制产品中所接触的大气中空气的净化和温湿度的调节，可以在一个适宜的环境当中可以生产出我们需要的产品和需要的物品。
净化室高效过滤器含有的颗粒在检验的时候要注意很多问题，所以需要我们多注意，送风量和排风量在净化室内，测量其中送风或排风时，若为单向流净化室，需要测量风速。
在不同的区域之间的气流管理办法：为解决每个净化区域的气流运行方向的正确性，也方便净化区域的空气活动，需要检查每个净化区域的压差值，门口和墙缝地板的密封处的气流运动方向和活动情况。
高效过滤器检漏时要检查外框的完整性和密封性，不会有污染物漏出来。还要注意高效过滤器损坏、与外壳的缝隙、检测悬浮物是不可以穿过建筑材料浸入无尘室。，室内气流控制需要根据气流的方向。需要检测室内有没有气流工作的区域，需要检测整个室内的风速和风向符合相关的要求。根据粒子浓度和微生物浓度进行技术性检测。
乱流式：空气是经过空调箱风管和室内的高效过滤器进入无尘室，通过无尘室的两端墙壁或地板内回风，气流呈乱流或涡流，适合在千级无尘室到万级无尘室中使用，整个净化结构简单成本低，扩展也比较容易，在一些场合当中作为无尘工作台等。但是乱流会造成污染粒子不容易排出，易污染制作产品。
层流式：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由掩盖率之过滤器进入室内，并由高架地板或两头隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境运用，一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种：
(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙面之回风系统回风，尘土随风向排出室外，一般在下贱侧污染较严峻。
利益：结构简略，作业后短时间内即可变成安稳。
缺点：制作费用比乱流式高，室内空间不易扩展。
(2)垂直层流式：房间天花板高效过滤器以ULPA过滤器掩盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或作业人员所产生的尘土可快速排出室外而不会影响其它作业区域。
利益：处理简略，作业初步短时间内即可达安稳情况，不易为作业情况或作业人员所影响。
缺点：结构费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架恰当占空间，修理替换过滤器较费事。
