本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料，使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造。
应用用途
用于PET，玻璃，硅基传感器，片式电感器上的白色负型光阻剂，主要支持黄光制程工艺制造。
1、性能与特点
外观：白色不透明液体
粘度：依用户用途可调
胶膜特性：成膜固化之后结构致密，与玻璃/金属/PET/陶瓷等基板结合紧密
显影干净：无残留，支持5um制程
用于各类器件的白色光阻涂层。
我们通过先进的材料技术将粒子尺寸微细化到200nm
本品在玻璃基材与陶瓷基材上分别制作的陶瓷粉光阻材料，使用黄光制程制做的图型。支持微细电子元器件的制造
2、指标参数
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序号 |
项目名称 |
指标 |
参考标准 |
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1 |
OD值（1um） |
2.3-3.0 |
分光光度计 |
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2 |
方阻抗值 |
1.3*1014-16 Ω/cm2 |
四探针仪 |
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3 |
粘度值 |
5~100cp |
粘度仪 |
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4 |
成膜均匀性 |
<4% |
9点法 |
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5 |
温度耐受范围 |
-20~400℃ |
鼓风干燥箱 |
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6 |
吸水率 |
1.5% |
100℃/2h |
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7 |
85℃，85%湿度（500Hr） |
4-5B |
3M胶带 |
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8 |
像素坡度 |
50~70° |
显微镜x50 |
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9 |
铅笔硬度 |
>4h |
三菱铅笔/750g硬度计 |
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10 |
耐化学 |
浸泡1Hr膜完好 |
IPA、NMP、GBL、TMAH |
3、工艺参数
1. 涂胶：旋涂，刮涂，印刷
2. 前烘温度：90~110℃
3. 曝光：150-300mj/cm^2
4. 显影时间： 50-70秒/CKB-AMPHBAL2001,25-30℃
5. 后烘温度：120~200℃， 30~60min
4、包装及存储
包装： 1kg洁净HDPE桶，加不透光包装袋
贮存： 0~5℃避光保存；紧盖封口，于通风、阴凉处储存；贮运中避免日晒、雨淋、泄露；剩余产品密封存放
保质期：3个月
