半自动晶圆切割贴膜机STK-7020

  • 发布时间:2021-05-17 10:53:31,加入时间:2012年07月18日(距今4290天)
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贴膜机_半自动晶圆切割机STK-7020

半自动晶圆切割贴膜机STK-7020规格:

晶圆直径:4”,5”,6”&8”;

晶圆厚度:150~750微米;

晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料;

              单边,双边,V型缺口;

膜种类:蓝膜或者UV膜;

           宽度:210~300毫米;

           长度:100米;

           厚度:0.05~0.2毫米;

晶圆承载环:6”DISCO 或者 K&S 标准;

                 8”DISCO 或者 K&S 标准;

                 客户制定标准;

贴膜原理:防静电滚轮贴膜;

晶圆台盘:通用(一体式)特氟龙防静电涂层接触式台盘;或硅胶台盘;或多孔金属台盘;或陶瓷台盘;

装卸方式:晶圆/承载环手动放置与取出;

防静电控制:防静电特龙隆涂层晶圆台盘/防静电贴膜滚轮/除静电离子发生器;

切割系统:手动轨迹式圆切刀和直切刀;

晶圆定位:通用标线/弹簧定位销;

控制单元:基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;

安全防护:配置紧急停机按钮;

电源电压:单相交流电220V,6A;

压缩空气:5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺;

机器外壳:白色喷塑金属外壳;

体积:560毫米(宽)*880毫米(深)*500毫米(高);

净重:80公斤;

晶圆切割贴膜机性能:

晶圆收益:≥99.9%;

贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);

每小时产能:≥ 80片晶圆;

更换产品时间:≤ 5分钟。

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