配置清单:
1,2350机腔
2,日本电子JEOL枪+17寸光驰原装RF射频源
3,进口真空计
4,美国POLYCOOL 1102
5,上加热丝
6,爱德华275机械泵+爱德华4200罗茨泵
7,6点晶控探头
配置清单:
1,2350机腔
2,日本电子JEOL枪+17寸光驰原装RF射频源
3,进口真空计
4,美国POLYCOOL 1102
5,上加热丝
6,爱德华275机械泵+爱德华4200罗茨泵
7,6点晶控探头
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