XPS（X射线光电子能谱技术）是一种先进的现代显微分析技术
它可以对固体样品的元素成分进行定性、定量或半定量及价态分析。 固体样品表面的组成，广泛应用于元素成分分析、多相研究、化合物结构鉴定、元素价态鉴定。
特点：
1、可以分析除H和He以外的所有元素，对所有元素的灵敏度具有相同的数量级。
2、相邻元素的同种能级的谱线相隔较远，相互干扰较少，元素定性的标识性强。
3、能够观测化学位移。化学位移同原子氧化态、原子电荷和官能团有关。化学位移信息是XPS用作结构分析和化学键研究的基础。
4、可作定量分析。既可测定元素的相对浓度，又可测定相同元素的不同氧化态的相对浓度。
5、是一种高灵敏超微量表面分析技术。样品分析的深度约3-10 nm。
