清洁度检测系统
奥林巴斯BX53M自动清洁度检测分析系统
全自动清洁度分析系统会自动将颗粒分为以下三类:
金属颗粒:通常是最关注的,并且是最关键的颗粒。
非金属颗粒,不含纤维:这些颗粒和金属颗粒一样是关键性污染物颗粒。
纤维:这些颗粒在测试的准备和操作过程中是无法避免的。因此,即使有时候纤维是滤膜上最的颗粒,其关注度也是相对不高。
将颗粒预分为三类,可减少手动操作的工作量,并且较大限度的关注所有与实际操作相关的颗粒。
通过偏振镜机构对滤膜进行二次扫描,并实现对滤膜上金属和非金属颗粒 的统计和鉴别。 针对塑料、玻纤等同样会产生反射的物体,系统会自动将其与金属颗粒区分开,此方法有效的回避了被误判为金属颗粒的风险。
对于尼龙网格编织膜的扫描数据表现同于其他表面滤膜的扫描数据,结果不受网格影响。
检测颗粒≥5um
