日立TM4000扫描电镜独特的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察。TM4000优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可采集四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。具有全新的SEM-MAP导航功能，同时，电镜图片可以报告形式导出。配备大型样品仓，可容纳大样品直径80mm，厚度50mm。
TM4000Plus是在TM4000基础上增加高灵敏度低真空二次电子探头UVD，该探头在低真空环境下具有很好的成像质量。TM4000Plus可将二次电子图像和背散射电子图像叠加并实时进行显示，获得多的样品信息。可选配附件丰富，拥有诸多附加功能。
