催化燃烧法的关键因素是催化剂的选择。已有多种可供选择的催化剂:按其活性分，有钯、铂、稀土和过渡金属氧化物催化剂;按其形状分，有无定形颗粒状、球形颗粒状、整体蜂窝状、网状、丝蓬状和透气板状等多种形式的催化剂。催化剂的载体一般以氧化铝和陶瓷为多，此外还有天然沸石、镍铬丝和不锈钢丝等。
催化燃烧设备根据吸附和催化燃烧两个基本原理设计，采用双气路连续工作，一个催化燃烧室，两个或多个吸附床交替使用。先将有机废气用活性炭吸附，当快达到饱和时停止吸附，然后采用热气流将有机物从活性炭上脱附下来使活性炭再生；脱附下来的有机物已被浓缩时，有机废气在催化燃烧床可维持自燃，不用外加热。燃烧后的尾气一部分排入大气，大部分被送往吸附床，用于活性炭再生。这样可满足燃烧和脱附所需要的热能，达到节能的目的。再生后的活性炭可进入下次吸附；在脱附时，净化操作可用另一个吸附床进行，既适合于连续操作，也适用于间断操作。
催化燃烧废气处理设备处理方法：
利用贵金属催化剂降低废气中有机物的活化能，使有机物在较低的温度(一般在250～300oC左右，不同成分的有机物，其催化燃烧温度不一样）下发生无火焰燃烧。催化燃烧方式有电加热和燃气加热，燃烧类型有直接催化燃烧(CO）和蓄热式催化燃烧（RCO）。催化燃烧一般适用于小风量、高浓度、高温的气态有机物，且废气中不能含有硫、铅、汞、砷及卤素等可使催化剂中毒的因子。
