毛细管系列测厚仪

毛细管是高端机型，其光斑尺寸仅为15μm(FWHM)，100倍放大相机用于观察样品上的细微特征; 同时配有低倍数相机，用于观察样品的宏观成像。博曼的双摄像头系统可让操作人员看到整个样品，点击图像，通过高倍放大相机进行放大，实现测量点的精确定位和测量。

可编程的XY平台，可精确定位多个测量点；博曼专有的样品模式识别软件搭配自动对焦功能，可帮助客户自动快速完成细微样品特征的测试。独特的3D Mapping扫描功能可绘制出硅晶圆等部件表面的镀层形貌。