3D激光平面度检查机

3D激光平面度检查机，设备特点：

1.采用3D线状激光扫描模式进行测量；

2.测量SOP、QFP、BGA、CCGA、PGA等 元件引脚的共面性、高度、厚度、宽 度、位置偏移等指标的测量。

3.测量精度: ≦5um；

4.可测量元件尺寸： 0.1mm*0.1mm~50mm*50mm；

5.可测量元件高度：0.1mm~30mm；

6.可测量器件引脚间距：0.1mm~50mm。