好处
快速分析 Ultra DI的采样量大，能够快速获取有效统计数据 仪器可以快速清洗，便于在采样点之间快速移动，节省操作人员的时间 采样时间间隔较短，缩短粒子分析时间 改善制程 采样体积大，零点计数值超低，可获取更多的有效统计数据，监测更微量的粒子漂移 实时监测粒子污染，对其作出迅速反应 Facility Net软件具有更先进的制程控制功能：文数传呼、传感器状态显示、制表和SPC图、时间图、历史数据记录等 更小的样本间误差，适用于更严格的制程 控制监测灵敏度达到0.05µm，能更迅速地监测制程变化 容易使用 可使用现有的以太网通讯网络 通过4-20mA直接连接PLC和SCADA系统 可用于监测臭氧水 不锈钢外壳，双HEPA过滤，可用于很脏的环境
应用
量化先进的超纯水（UPW）系统中的粒子浓度 检测过滤器效率 分析低浓度粒子趋势 监测UPW系统中的细菌增长 粒子事件追踪和报警 制程控制 连续系统监测
