维修产品有：靶材电源维修；等离子电源维修；镀膜机电源维修；射频电源维修；ICP电源维修；镀膜机控制器维修；RF电源维修；匹配器维修；电源控制器维修；氧化源控制器维修；检测仪维修；IB电源维修；离子源维修；镭射切割机维修；镀膜厚仪维修；射线源维修。
lumina电源维修常见故障：
无激光输出,风扇不转。
可以强制发光,不能主板控制发光。前级低压控制部分坏。
高压打火,高压线接头处太靠近铁壳部分。电流不能调节,电流控制部分坏。
在更换电源箱或主控箱内器件时，可做个记号，以便在更换时能正确接线。特别是有器件或大电流大功率器件特别要注意到这一点。否则会直接烧坏器件；
总是调空开,属于功率管短路坏。
电源输入的插头不能插错（老电源或主控箱可能会出现航插一样，其功能不一样，插错航插可能会引起内部控制板烧坏或内部器件损坏）
