ATOVAC真空计(增强对流计)EG301产品介绍
通常安装在真空室内,它是一个读取真空室内实际压力的仪表,需要+24 VDC(可能为15 VDC)电源。EG301增强型对流压力计具有3~10 VDC信号输出,用于半导体工艺和真空设备。
ATOVAC真空计(增强对流计)EG301性能特点
可以进行大范围的压力测量(0 X 10-4至760Torr)。 高精度和增加的占地面积效率。 提供模拟输出,以便直接连接到PLC和其他设备进行显示。 由于采用了7段LED,因此可以远距离读取。 PC可以使用RS-485进行控制。 提供两个设置点用于外部设备和过程。 它可以以低成本维修(更换传感器导线)。 可单独使用,无需控制器。
ATOVAC真空计(增强对流计)EG301技术参数
输入功率:+24伏直流电(可能15伏直流电)
输出功率:+3 VDC至10 VDC
工作温度:0~50℃
压力范围:2.0 X 10-4~760Torr
显示窗口:7段LED
显示单元:托尔(Torr)
安装位置:水平
细丝:铂99.999%
法兰:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR内螺纹,CF法兰
界面:模拟输出,RS-485,2个设定点