英微米表面颗粒检测仪U-III基于激光光学传感器和光散射原理，实时捕获悬浮粒子的散射光信号，实现单个粒子尺寸的精确分析。采用先进界面技术，通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮，便于后续检测。
该系列设备通过量化表面污染数据，为半导体制造中的过程控制提供标准化依据，从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器：第七代双激光窄光检测器，寿命>200000次
测量粒径：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差：≤±30%
浓度示值误差：≤±30%
重复相对偏差：≤±10%FS
重叠误差：当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测：可同时检测气体浓度，支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围：-40 ～ 120℃
检定标准：计数报告符合GB/T及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可选）；
采样时间：3、6、9、12、15、30、60秒（可选）；
检测模式：数量模式；质量模式； 净效模式；三种检测模式可切换
检测方式：定时检测、循环检测可设置
报警方式：自定义数量报警值、质量报警值
限值报警：RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性：权限管控、审计追踪、电子记录等
合 规 性：符合ISO 21501-4，CE，JIS B9921
合 规 性：符合21 CFR Part 11
通讯接口：RS232、R485、LAN-USB
存储模式：实时存储、定时存储可设置；可存储数据无限制
