半干法脱硫工艺流程以湿态脱硫剂喷入与烟气反应，最终生成干态脱硫产物为核心，兼具湿法的高反应效率和干法的低废水排放优势。具体流程如下：
1. 烟气预处理
烟气首先经过除尘、降温等预处理，去除大颗粒粉尘并调整温度至适合脱硫反应的区间（通常为60-120℃）8。
2. 脱硫剂制备与喷入
脱硫剂（常用钙基物质如消石灰Ca(OH)₂或生石灰CaO）经研磨制粉后，与水或蒸汽混合形成浆液或湿润颗粒68。
湿润的脱硫剂通过旋转喷雾器或流化床装置均匀喷入吸收塔，与烟气充分接触16。
3. 脱硫反应
在吸收塔内，SO₂与脱硫剂发生化学反应，生成硫酸钙（CaSO₄）、亚硫酸钙（CaSO₃）等固态产物。
此外，可能伴随与CO₂、HCl等污染物的副反应68。
4. 气固分离与再循环
反应后的烟气携带固态产物进入除尘器（如布袋除尘器或电除尘器），分离出脱硫灰渣67。
部分未完全反应的脱硫剂通过循环系统返回吸收塔，提高利用率（循环流化床工艺中循环比可达50倍以上）67。
5. 产物处理
收集的脱硫灰渣经干燥、稳定化处理后，可作为建筑材料或填埋处置
