作为直线电机源头生产厂家，汉诺深耕行业 25 年，专注高精密高稳定性直线电机模组平台研发定制生产，其 EFEM 晶圆传输系统在行业内颇具竞争力，优势体现在多个方面。
汉诺的 EFEM 晶圆传输系统依托公司强大的技术积累和生产实力。公司拥有一万五千平研发生产车间，推行完备的 6S 生产管理，从生产环境到流程都有严格规范，为产品品质打下坚实基础。多名十年以上装配经验的高级技工参与制作，确保每一个部件的装配精度，让系统在运行中更稳定可靠。
在精度控制上，EFEM 晶圆传输系统表现出色。汉诺配备多台高精密检测设备，包括 10 台雷尼绍激光干涉仪、准直仪、激光多普勒分析仪等，对系统进行全方位检测。这使得该系统能满足半导体行业对高精密传输的要求，与汉诺的直线电机、压电平台等产品配合，可实现微米、亚微米乃至纳米级的精准控制，保障晶圆传输过程中的位置准确性。
适配性广泛是其另一大优势。EFEM 晶圆传输系统可与多种高精密自动化设备搭配，广泛应用于半导体生产环节。汉诺与哈工大、桂林理工大学等进行产学研合作，不断优化系统设计，使其能适配不同规格的晶圆处理设备，如光刻机、蚀刻机、薄膜沉积设备等，满足不同场景下的传输需求。
稳定性方面，该系统充分体现汉诺对高稳定性的追求。通过优质材料选择和结构优化，系统能在长时间运行中保持稳定性能，减少因设备波动带来的生产影响。这一特性让其深入参与到半导体产业链中，与众多 TOP 企业建立深度合作。
此外，作为直线电机源头生产厂家，汉诺能提供定制化服务。针对不同客户的具体需求，可对 EFEM 晶圆传输系统进行调整，从材料选择到功能设计，提供适配的解决方案。这种灵活性使其在半导体、激光等领域得到广泛认可，也让汉诺积累了大量老客户，80% 的业绩来自返单和转介绍，侧面印证了 EFEM 晶圆传输系统的可靠优势。
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