表面形貌及微区成分分析
利用扫描电子显微镜（SEM）+X射线能谱仪（EDS）可对各种固体表面进行形貌观察，放大倍数可达30万倍，同时利用特征X射线可对微区的成分进行定性半定量分析。在金属、半导体、陶瓷、催化剂、矿物、玻璃、PCB板等相关表面形貌及微区成分分析方面得到广泛应用。同时在零件断口分析、表面异物分析等产品失效方面也发挥了关键性的作用。
SEM+EDS 特点
u SEM的二次电子成像分辨率约3nm
u EDS成分分析的元素范围Be（5）～U（92）
u EDS分析深度约1μm
u 元素检测下限约1%
u 空间分辨率约1μm
测试项目： 固体材料表面的形貌观察
金属零部件断口形貌观察
粉末、微粒样品形态和粒度的测定
镀层厚度测量
固体材料表面、截面及微区成分
表面异物，锈蚀，斑点分析
样品成分的线分布和面分布
锡须观察和测量
适用产品和领域:
金属、陶瓷、催化剂、矿物、玻璃、PCB板；渗氮、渗碳件，喷涂件， 薄膜件；金相切片样，表面异物，金属断口；粉末材料，生物医学材料等
