横河EJA
采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作 两个形状、尺寸、材质完全一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。 单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁 因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。 2、 优异的性能
静压影响忽略不计 |
横河EJA
采用微电子加工技术(MEMS)在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作 两个形状、尺寸、材质完全一致的H形状的谐振梁,谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。 单晶硅片的上下表面受到的压力不等时,将产生形变,导致中心谐振梁 因压缩力而频率减小,边缘谐振因受拉伸力而频率增加。 2、 优异的性能
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