全氟橡胶O型圈FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点：
耐热特性
优异的抗化学特性
低Outgassing 特性
优异之抗Plasma特性
适用范围:
全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点；其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳，一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点：
适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
全氟醚橡胶O型圈FFKM
全氟醚橡胶是由TFE（主链）、PMVE（支链）及架桥部所构成，它不仅具有像PTFE一样优异耐高温，耐化学腐蚀的性能（可耐1600余种化学品的腐蚀），还兼备了橡胶的弹性，其在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。普通全氟橡胶工作温度范围为-25℃~+240℃间，Kalrez7075耐高温可达327℃，即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中，Kalrez制作也不会发生导致密封失效的硬化和脆化，Kalrez在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其弹力和回弹性能。事实上，Kalrez的热稳定性往往超过了那些流体本身。全氟橡胶还具有优异的气密性（耐真空度可达1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛.
昆山晶通福橡胶制品有限公司
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