525系列--CNC形状测量仪 CS-5000CNC / CS-H5000CNC
Formtaracer Extreme(超级表面粗糙度/轮廓测量装置）
CS-5000CNC / CS-H5000CNC
525系列--CNC形状测量仪
特点：
•高精度探针形CNC表面测量仪可以同时进行表面粗糙度和形状/轮廓的测量。
•X1轴和Z2轴的驱动速度分别为40mm/s和200mm/s，可以高速定位，从而提高了多重轮廓/多工件
测量的效率。
•X1轴和Z1轴上装有三丰激光全息光栅尺,从而可以实现高分辩率(X1轴分辨率：6.25nm,Z1轴分辨率：
4nm/8nm)的轮廓/形状测量、表面粗糙度的测量和批次测量。
•Z1轴检测器采用主动控制方式，减少了Z1轴动态测力变化的同时扩展了测量范围。
•Z1轴检测器检测集成了防碰撞安全装置，当仪器主体与工件或夹具发生碰撞时，检测装置可以自动
停止工作。
•带有а轴的型号，可以通过电动旋转×1轴连续测量水平面和倾斜面。
•带有Y轴工作台的型号，可沿Y轴进行多工件定位，从而增加了多工件测量范围。
•提供易于操作的摇控箱，用户可以通过这两个操纵杆选择合适的轴进行移动。在按键上标有易于理
解的图形显示轴的选择状态。
•通过USB端口与数据处理/分析装置（选件）进行信息交换。
性能参数
型号 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
货号（100V-120V）
货号（200V-240V）
X1轴测量范围 200mm 200mm 200mm 200mm
Z2轴垂直行程 300mm 300mm 300mm 300mm
Y轴工作台装置 已安装 已安装
а轴装置 已安装 已安装
型号 CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC CS-5000CNC
货号（100V-120V）
货号（200V-240V）
X1轴测量范围 200mm 200mm 200mm 200mm
Z2轴垂直行程 500mm 500mm 500mm 500mm
Y轴工作台装置 已安装 已安装
а轴装置 已安装 已安装
型号 CS-5000CNC CS-5000CNC
货号（100V-120V）
货号（200V-240V）
X1轴测量范围 200mm 200mm
Z2轴垂直行程 300mm 300mm
Y轴工作台装置
а轴装置 已安装
型号 CS-5000 CS-5000L
货号（mm) * *
货号（inch) * *
X1轴测量范围/分辨率 200mm/6.25nm 200mm/6.25nm
Z1轴测量范围/分辨率 标准探针 6mm/2mm 12mm/4mm
二倍长型探针 12mm/4mm 24mm/8mm
Z2轴垂直行程 250mm 250mm
X1轴直线度（L为驱动长度mm) 标准探针 (0.05+0.5L/1000)μm (0.05+0.5L/1000)μm
二倍长型探针 (0.1+0.5L/1000)μm (0.1+0.5L/1000)μm
指示精度（20°C)（L为驱 X1轴 ±(0.2+L/1000)μm ±(0.2+L/1000)μm
动长度mm,H为测量高度mm) Z1轴 ±(0.2+|H|/100)μm ±(0.3+|2H|/100)μm
*为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀（如：A):
A适于UL/CSA，D适于BS，DC适于中国，K适于EK， 无后缀适于JIS/10
