德国普发 Pfeiffer 分子泵 Hipace l/s 产品优点： 1. 四种抽速，抽速为自1,000 至 2,000 l/s 2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速 3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求，耐粉尘 4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体 5. 集成的 TC 1200 驱动单元，可直接连接一般电源 6. 支援腐蚀气体 7. 带节气阀门的集成密封气体系统 8. 标准介面介面：RS-485 以及远端控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供选择 9. 符合 IP 54 防护标准，适用于工业应用环境 10. 符合 Semi S2 规范 11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证 分子泵 Hipace l/s 适用领域： 1. 半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜 分子泵 Hipace l/s 产品规格： 型号 连接尺寸 DN 抽速 l/s 压缩比 启动压强mbar 冷却 方式 启动 时间 重量 进气口 出气口 氮气N2 氦气He 氢气 H2 氮气 N2 氮气N2 min kg HiPaceTM 1200 200 40 1,250 1,300 1,100 >108 2 水冷 2.5 40 HiPaceTM 1500 250 40 1,450 1,350 1,150 >108 2 水冷 2.5 41 HiPaceTM 1800 200 40 1,450 1,650 1,700 >108 1.8 水冷 4 34