FkM
(Perfluoroelastomer) 优点：
耐热特性
优异的抗化学特性
低Outgassing 特性
优异之抗Plasma特性
适用范围:
全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理，其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点；其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳，一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点：
适用于特别用途，如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
昆山晶通福橡胶制品有限公司
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