全氟橡胶FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点:
耐热特性
优异的抗化学特性
低Outgassing 特性
优异之抗Plasma特性
适用范围:
全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
Kalrez制作也不会发生导致密封失效的硬化和脆化,Kalrez在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其弹力和回弹性能。
事实上,Kalrez的热稳定性往往超过了那些流体本身。全氟橡胶还具有优异的气密性(
耐真空度可达1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高洁净性以及耐离子体性,这些特点在半导体行业的应用也非常广泛.
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国标尺寸有大量现货,非标尺寸,大型骨架油封,橡胶异形件可以订做;
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