产品介绍
MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。
半导体 FPD检查显微镜 规格 MX61L MX61
光学系统 UIS2光学系统（无限远校正）
机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射 反射/透射
照明装置 机身一体型（明视场，暗视场＋1选件）
照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W水银 75 W氙
透射照明 纤维光导
对焦单元 电动 手动 手动
行程 32 mm
分辨率 微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm
样本高度 30 mm
物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式 -
载物台 行程 14×12英寸右下手柄：
356（X）×305（Y）mm
（透射照明范围356×284 mm） 8×8 英寸右下手柄：
210（X）×210（Y）mm
（透射照明范围189×189 mm）
6×6 英寸右下手柄：
158（X）×158（Y）mm
观察筒 广角视场
（视场数22） 倒置 双目/三目观察筒
正像 三目观察筒
超宽视场
（视场数26.5） 倒置 三目观察筒
正像 倾斜三目观察筒
附件单元 DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸 710（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合） 509（W）×843（D）×507（H）mm
（标准组合）
重量 51 kg（标准组合） 40 kg（标准组合）
