技术参数
名称
内容
测量
范围
Z轴
（垂直）
160μm
X轴
（水平）
17.5mm
分辨率
Z轴
（垂直）
0．01μm/±20μm
0．02μm/±40μm
0．04μm/±80μm
测量
项目
参数
Ra Rz==Ry(JIS) Rq Rt==Rmax
Rp Rv R3z R3y Rz(JIS)
Rs Rsk Rku Rsm Rmr
标准
ISO,ANSI,DIN,JIS
图形
支承率曲线，粗糙度轮廓，直接轮廓
滤波器
RC,PC-RC,Gauss,D-P
取样长度(lr)
0.25,0.8,2.5mm
评定长度（ln）
Ln= lr×n n=1~5
传感器
测量原理
位移式差动电感
触针
天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径
测力
<4mN
导头
硬质合金，滑行方向半径40mm
滑行速度
lr=0.25, Vt=0.135mm/s
lr=0.8, Vt=0. 5mm/s
lr=2. 5, Vt=1mm/s
返回 Vt=1mm/s
示值误差
不大于±10%
示值变动性
不大于6%
电源
内置锂离子充电电池，用DC5V,800mA充电器充电
外形尺寸
158x63.5x46mm
重量
约300g
工作环境
温度：- 20℃ ~ 40℃
湿度：< 90% RH
储存运输环境
温度：- 40℃ ~ 60℃
湿度：< 90% RH
