氟橡胶密封圈(FPM) 是由含氟单体共聚而成的有机弹性体。其特点耐温高可达300℃,耐酸碱,耐油性是耐油橡胶中的,抗辐射、耐高真空性能好;电绝缘性、机械性能、耐化学腐蚀性、耐臭氧、耐大气老化性均优良。使用温度范围:-40℃~+300℃。 氟橡胶密封件也是唯一能在高空条件下使用的,在1.33X10-7pa以下,其他的橡胶都不能用于密封.
由此,氟橡胶在宇航领域有着广泛的应用.
氟橡胶可用于无机酸介质密封,在140℃下的67%硫酸,70℃下的浓盐酸,90℃以下30%的硝酸中都可以长期使用,特殊配方的氟橡胶还可以用于王水.
在半导体制造工业中,可用于四氯化硅、砷化镓、三氯氧磷等275℃以下的介质中。
(Fluoro Carbon Rubber) 分子内含氟之橡胶,依氟含量 ( 即单体构造 ) 而有各种类型。目前广用的六氟化系氟橡胶最早由杜邦公司以 ”Viton” 商品名上市。耐高温性优于硅橡胶,有极佳的耐化学性、耐大部分油及溶剂 ( 酮、酯类除外 ) 、耐候性及耐臭氧性;耐寒性则较不良,一般使用温度范围为 -20~250 ℃。特殊配方可耐低温至 -40 ℃。
优点:
· 可抗热至 250 ℃
· 对于大部份油品及溶剂都具有抵抗的能力,尤其是所有的酸类、脂族烃、芳香烃及动植物油
缺点:
· 不建议使用于酮类,低分子量的酯类及含硝的混合物。 · 汽车、机车、柴油发动机及燃料系统。
适用范围:
· 化工厂的密封件。
全氟橡胶 FFPM
(Perfluoroelastomer) 优点:
· 耐热特性
· 优异的抗化学特性
· 低Outgassing 特性
· 优异之抗Plasma特性
缺点:
· 耐低温特性较差
· 原料价格较高
· 生产难度较高
适用范围:
· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
硅氟橡胶
FLS
(Fluorinated Silicone Rubber) 硅氟橡胶为硅橡胶经氟化处理,其一般性能兼具有氟橡胶及硅橡胶的优点;其耐油、耐溶剂、耐燃料油及耐高低温性均佳,一般使用温度为 -50~200 ℃。
优点:
· 适用于特别用途,如要求能抗含氧的化学物、含芳香氢的溶剂及含氯的溶剂的侵蚀。
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