尼康金相显微镜ECLIPSE L300 主要特点:
• 专为300mm晶圆和光罩检测
• 利用更高的分辨率,对比度和透射CFI60光学系统
• 更高的亮度比传统的显微镜
• 新光源和四次美好的透射照明,先进的光学设计结果
•预中心的灯箱提供更高的亮度,同时仅消耗一半的电力,并减少热致离焦
• 电动物镜转换器比传统模式更耐用三倍
应用
• 晶圆
• 液晶显示器
是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业需求而开发的。作为高级金相显微镜用户在使用时能够体验其超强性能,可广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密模具的检测,可观察较厚的标本。
两种机型可供选择
• L300N:Episcopic照明类型
样品尺寸:300mm晶圆
第一阶段行程:354 x302毫米
放大倍率范围:15X - 2000X(目镜和目标而定)
• L300ND:透射/ Episcopic照明类型
样品尺寸:17英寸平板显示器(FPD)
第一阶段行程:354 x302毫米(透射照明范围:354 x268毫米)
放大倍率范围:15X - 2000X(目镜和目标而定)
各种各样的观测技术
各种各样的观测技术,如明场,暗场,简单的偏光,DIC和外延flourescence观察,是可能的。采用Epi - flourescence观察,紫外激发可应用于包括300mm晶圆和OLED检查应用。
暗场观察 新开发的暗场照明光学显着提高图像的亮度和提高分钟内样品的划痕和拓朴的检测能力。
明场观察
尼康CFI60系统 - 一个成功合并的CF光学系统无限远光学 - 高亮度,高对比度的图像。
Nomarski DIC的观测
尼康L300N/L300ND金相显微镜采用单棱镜(Senarmont)系统,使所有的放大倍率DIC的观察,通过简单地插入物镜转换器单Nomarski棱镜。 DIC的图像清晰和与最小的色调明快,即使在低放大倍率。 高对比度型DIC的滑块允许更大的敏感性形成的DIC图像。