一：
在工艺过程中利用真空泵所产生真空条件将材料与空气隔绝，避免钛在高温下与空气中的成分发生反应和被其污染，是钛的精炼和提纯工艺 真空泵技术的不断发展，加上特种真空泵系统的设计创新，使真空电弧重熔和近来的感应凝壳熔炼受益匪浅。这两种主要的钛精炼工艺所使用的真空泵系统取得了一些新的技术成果，本文对此加以介绍。 真空电弧重熔 真空电弧重熔(VAR)炉被用来提纯像钛(Ti)这样的活性金属。利用待提纯的海绵钛、钛废料和洁净的回收金属钛制成一根长电极，然后将其放在真空室内一个接地的水冷铜模上方。两者之间产生一道直流电弧，将钛电极的末端熔化。随着熔融金属不断落入铜模，电极逐渐被消耗，而提纯的钛锭在下方逐渐增大。这样的熔炼操作通常需要进行两次，以确保钛达到期望的纯度和冶金结构。 在VAR炉内的真空条件下用电弧熔化，相比于感应熔化技术具有许多优点。它完全避免了与空气成分的接触，能够有效去除溶解气体(比如氢和氮)以及轻金属杂质。还可以对提纯的钛锭进行定向凝固。 钛VAR炉内部的工作压力必须达到1x10-2毫巴 – 1x10-3毫巴甚至更低，因此，真空泵必须具有足够的能力以保证充分去除产生的所有气态杂质。工艺过程中产生的粉尘和颗粒物会被气流带入真空泵。
二：真空重熔真空装置真空泵介绍
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，
三：真空重熔真空装置真空泵一览
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