晶圆片托架落座传感器价格 立宏安全直销欧姆龙传感器价格
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薄片载体的落座检测
依靠与导槽并用,设定落座位置。 晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。 在独特的光学结构,几乎可稳定检测所有晶圆片托架。 采用强抗外部干扰光的变调光方式。 电线使用净化电线(无粉尘)。 上海立宏电子科技有限公司
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