产品功能
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、共面性、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、蚀刻情况、弯曲变形情况、加工情况、材料支撑率等表面形貌特征进行测量和分析。被测物体的尺寸通常不大于150*100mm，更大尺寸的测量系统可以定做；工作台承载重量40Kg。
产品广泛应用于汽车工业、航空航天、造纸工业、钢铁工业、薄膜加工、半导体加工、MEMS等行业。
应用范围
* 机械密封的平面度和粗糙度测量；
* 电子元件表面的平面度、翘曲度和粗糙度测量分析；
* BGA焊料球的共面性、封装是否变形以及所有的焊料球是否都存在的检查分析；
* 造纸行业对纸张表面的纹理分析；
* 膜片的厚度及涂层的高度测量等；
* 化学蚀刻产品的蚀刻深度和面积测量；
* 压花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌测量分析；
* 丝印装置涂层厚度测量，如电子产品和生物医疗器械等；
* 轧制铝膜和钢板表面情况进行三维分析；
* 法医学上三维表面形貌测量分析；
* 压电陶瓷部件的轮廓和表面形貌特征测量分析；
* 牙齿的腐蚀和磨损情况分析；
* 医学上如人造皮肤的轮廓分析；
* 沟槽深度和截面计算分析；
* 激光蚀刻表面的雕刻深度测量；
* 各种柔软材料、易腐蚀材料、传统接触方式无法检测的产品的表面形态测量和分析；
* 其他各种小型部件的平面度、粗糙度、波纹度和轮廓测量分析。
评定参数
Am 轮廓算术平均值
Ra 轮廓算术平均偏差
Rz（DIN） 峰谷高低平均值
Rz（ISO） 微观不平度十点高度
Rmax 轮廓高度
Rp 平均轮廓波峰高度
Rq 粗糙度均值平均方根
Rpm 峰值高度值
Rvm 谷值深度值
R3z 算术平均第三峰谷间高度
Wt 波形深度总值
Pt 轮廓深度总值
Nr 峰值计数归一
Tpa 材料支撑率（宏）
D 峰值密度
S 轮廓单峰平均间距
Sm 轮廓微观不平度平均间距
Lm 取样长度
共面性
Warpage滤波器，过滤表面粗糙度数据，而仅保留轮廓数据
Surface滤波器，过滤表面轮廓数据，而仅保留粗糙度数据
对单点进行编辑
在X和（或）Y轴上进行插值
半径计算
体积计算
表面积计算
截面积计算
三维轮廓显示
